Steinmeyer Positioniersysteme für Reinräume

Wiederholbarkeit: 1 µm
Ladung: 15 kg
Hub: 200 mm - 1.000 mm

... FMC-Serie, ACS, SPS-Integration Kundenspezifische Optionen: - Prozessanpassung, Probenhalter, Kopf / Sensor - Ausführungen für Reinraum ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage) - Gestell, Schwingungsisolierung, Umhausung, ...

Wiederholbarkeit: 0,3 µm - 2,5 µm
Ladung: 5 kg - 20 kg
Hub: 100 mm - 720 mm

... - Motion Controller: FMC-250/280, ACS, SPS-Integration - Reinraum Klasse: ISO 2 Kundenspezifische Optionen: - Prozessanpassung, Probenhalter, Kopf / Sensor - Ausführungen für Reinraum ISO 14644-1 ...

Wiederholbarkeit: 1,9 µm - 4,4 µm
Ladung: 50 kg
Hub: 100 mm - 1.000 mm

... Lebensdauer mit 1.000.000 Vollzyklen und einem Wartungsintervall von 500.000 Vollzyklen bzw. aller 2 Jahre Dieses Positioniersystem bewegt einen Vakuumchuck auf einer Fläche von 1000 x 1000 mm. An der Traversenachse ...

Wiederholbarkeit: 0,4 µm - 0,8 µm
Hub: 100 mm - 300 mm
Geschwindigkeit: 80 mm/s - 630 mm/s

XY-2Z 3D-Druck Portal (Reinraum) Kundenspezifisch anpassbar: • Ideal zum 3D Druck für hochpräzise, universelle additive Fertigungsverfahren • Hoher Durchsatz durch Verfahrwege von 300 x 200 x 100 mm, erweiterbar ...

Wiederholbarkeit: 10 µm
Ladung: 830 g
Hub: 14 mm

Z-Phi Dreh-Hub-Aktuator mit integrierter Steuerung (Reinraum ISO 8) Kundenspezifisch anpassbar: • Ideal für die automatisierte Reinraumproduktion z.B. justieren, eindrehen, stapeln, abfüllen und verschließen • ...

Wiederholbarkeit: 0,001 µm - 3,5 µm
Ladung: 6,5 kg
Hub: 4 mm - 20 mm

6-Achs Miniatur-XYZ-Theta-Phi-Delta Positioniersystem (Reinraum ISO 5) Kundenspezifisch anpassbar: • Ideal zur automatisierten Inspektion von Wafern und Optiken bis 300 mm / 12" • Hohe Wiederholgenauigkeit ...