Steinmeyer piezoelektrische Positioniertische

Hub: 1 mm - 300 mm
Geschwindigkeit: 1 mm/s - 10 mm/s
Wiederholbarkeit: 0,015 µm - 5 µm

LA97 Nanometer-Lineartisch Anwendung: Scannen Nutzen: Nanometer-Positionierung, auch vertikal Features: Positionierung mit extremer Auflösung und höchster Steifigkeit kann mit 2 (oder 4) Motoren ausgestattet werden - Vakuum: ...

Hub: 1 mm - 10 mm
Geschwindigkeit: 0,2 mm/s - 10 mm/s
Wiederholbarkeit: 0,2 µm - 5 µm

MT53 Hochauflösender Mikrotisch Anwendung: Mehrzweck-Mikrotisch Vorteil: für hochauflösendes Scannen Merkmale: Positionierung mit sehr hoher Auflösung - Vakuum: alle Druckbereiche HV /UHV bis zu 10E-11 mbar - Schmierung: Flüssigkeit ...

Hub: 1 mm - 50 mm
Geschwindigkeit: 1 mm/s - 50 mm/s
Wiederholbarkeit: 0,3 µm - 5 µm

KT105-50 Hochauflösender XY-Tisch Anwendung: Vakuum-XY-Tisch Vorteil: schnell und hochauflösend Merkmale: Parameter für Gieren und Nicken dreimal besser als die Variante mit Blende - Vakuum: alle Bereiche HV / UHV bis zu ...

Geschwindigkeit: 180 mm/s - 270 mm/s
Wiederholbarkeit: 0,001 µm - 1 µm
Ladung: 3 kg

Hochauflösender Drehtisch HV / UHV, DUV, Reinraum ISO 6, n x 360°, Rep 0.0005°, 3 kg Last, Speed 270°/s • - Reinraum: Varianten bis Klasse ISO 6 (höher auf Anfrage) • - Vakuum: alle Bereiche HV / UHV bis 10-11 mbar • - Schmierung ...

Hub: 360 mm - 360 mm
Geschwindigkeit: 200 mm/s - 300 mm/s

Hochauflösender Drehtisch mit großer Apertur UHV, DUV / EUV, Reinraum ISO 6, n x 360°, Rep 0.0003°, Speed 300°/s, Last 5 kg • - Reinraum: Varianten bis Klasse ISO 6 (höher auf Anfrage) • - Vakuum: alle Bereiche HV / UHV bis 10-8 mbar • ...

Hub: 10 mm
Geschwindigkeit: 5 m/s
Wiederholbarkeit: 0,2 µm - 0,3 µm

Hochauflösender Mikropositionierer HV / UHV / EUV, 10 mm Verfahrweg, 0.2 µm Wiederholgenauigkeit, 0.5 kg Last • - Vakuum: alle Bereiche HV / UHV / EUV • - Schmierung flüssig bis 10-8 / trocken bis 10-11 mbar • - Max. Ausheiztemperatur: ...

Hub: 20 mm - 200 mm
Geschwindigkeit: 5 mm/s - 10 mm/s
Wiederholbarkeit: 0,02 µm - 30 µm

... unidirektional) ± 0.03 µm (bidirektional) • - Last: → 200 N / ↑ 20 N • - Max. Geschwindigkeit: 10 mm/s • - Motor: Piezo Motor • - Führung: Kreuzrollenlager Edelstahl, Hybrid, optional Keramik • - Feedback: ...

Hub: 25 mm - 50 mm
Geschwindigkeit: 2,5 mm/s - 5 mm/s
Wiederholbarkeit: 0,2 µm - 0,3 µm

MT85-PM Vakuum / Reinraum Linearachsen und Lineartische • - Reinraum: Varianten bis Klasse ISO 6 (höher auf Anfrage) • - Vakuum: alle Bereiche HV / UHV • - Strahlung: UV / DUV / EUV • - Schmierung: flüssig bis 10-8 / trocken ...

Hub: 1 mm - 10 mm
Geschwindigkeit: 2,5 mm/s - 5 mm/s
Wiederholbarkeit: 0,2 µm - 0,3 µm

MDT85-PM Apertur-Miniatur-Lineartisch 114 x 84 x 28 mm, UHV / DUV / EUV, ISO 6, Hub 10 mm, Repro 0.2 µm, Last 1.5 kg, Speed 5 mm/s • - Reinraum: Varianten bis Klasse ISO 6 (höher auf Anfrage) • - Vakuum: alle Bereiche HV / UHV • ...

Hub: 1 mm - 100 mm
Geschwindigkeit: 1 mm/s - 100 mm/s
Wiederholbarkeit: 0,2 µm - 5 µm

MT105 Anwendung: Mehrzweck-Mikrotisch Vorteil: für hochauflösendes Scannen Merkmale: Positionierung mit sehr hoher Auflösung - Vakuum: alle Druckbereiche HV /UHV bis zu 10E-11 mbar - Schmierung: Flüssigkeit bis 10E-8mbar / Trockenschmierung ...