Steinmeyer 1-Achs-Positioniertische

Hub: 1 mm - 40 mm
Geschwindigkeit: 1 mm/s - 200 mm/s
Wiederholbarkeit: 0,3 µm - 5 µm

... Kreuzrollenlager aus Edelstahl, Hybrid, optional Vollkeramik - Feedback: Linearmesssystem - Auflösung des Messsystems: 0,005 µm - 0,1 µm

Hub: 1 mm - 130 mm
Geschwindigkeit: 1 mm/s - 10 mm/s
Wiederholbarkeit: 0,4 µm - 5 µm

... an die Anwendung - Individuelle Anpassung an die Einbausituation in der Kammer - Ausführung für Reinraum ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage) - Optional mit Steuerung FMC400/450 Technische Daten - ...

Hub: 1 mm - 100 mm
Geschwindigkeit: 1 mm/s - 10 mm/s
Wiederholbarkeit: 0,4 µm - 5 µm

... unidirektional) ± 1,9 µm (bidirektional) - Last: → 44 N / ↑ 120 N - Max. Geschwindigkeit: 10 mm/s - Motor: Schrittmotor - Führung: Kreuzrollenlager aus Edelstahl, Hybrid - Feedback: Lineare Skala - Auflösung ...

Hub: 1 mm - 300 mm
Geschwindigkeit: 1 mm/s - 10 mm/s
Wiederholbarkeit: 0,015 µm - 5 µm

... Vakuumschmierung - Individuelle Anpassung an die Einbausituation in der Kammer - Ausführung für Reinraum ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage) - Optional mit Steuerung FMC400/450 Technische Daten - ...

Hub: 1 mm - 185 mm
Geschwindigkeit: 1 mm/s - 8,4 mm/s
Wiederholbarkeit: 0,4 µm - 5 µm

LA95 Anwendung: Transportstufe, Abtaststufe Vorteil: hohe Lebensdauer trotz Trockenschmierung Merkmale: Spindel mit Trockenschmierung oder Kugelgewindetrieb mit Flüssigschmierung - Vakuum: ...

Hub: 1 mm - 10 mm
Geschwindigkeit: 0,2 mm/s - 10 mm/s
Wiederholbarkeit: 0,2 µm - 5 µm

... Geschwindigkeit: 0,2 mm/s - Motor: Piezo-Motor - Führung: Kreuzrollenlager - Feedback: Lineare Skala - Auflösung Feedback: ± 0.1µm

Hub: 1 mm - 16 mm
Geschwindigkeit: 1 mm/s - 2,2 mm/s
Wiederholbarkeit: 1 µm - 5 µm

... Ausführung für Reinraum ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage) • - Optional mit Steuerung FMC400/450 Technische Daten: • - Verfahrweg: 16 mm • - Wiederholgenauigkeit: - ± 1 ...

Hub: 1 mm - 16 mm
Geschwindigkeit: 1 mm/s - 16,6 mm/s
Wiederholbarkeit: 0,7 µm - 5 µm

... ohne Blende - Verschiedene Verfahrwege. - Wahlweise mit und ohne Messsystem - Ausführungen für Reinraum ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage) - Auf die Anwendung abgestimmte Materialauswahl und ...

Hub: 1 mm - 25 mm
Geschwindigkeit: 1 mm/s - 3,4 mm/s
Wiederholbarkeit: 0,3 µm - 5 µm

... Kammer • - Optional mit Steuerung FMC400/450 Technische Daten • - Verfahrweg: 25 mm • - Wiederholgenauigkeit: - • - ± 1,7 µm, ± 0,3 µm (unidirektional) • - ± 2,7 µm, ± 0,5 µm (bidirektional) • - Last: → 440N ...

Hub: 360 mm - 360 mm
Geschwindigkeit: 200 mm/s - 300 mm/s

Hochauflösender Drehtisch mit großer Apertur UHV, DUV / EUV, Reinraum ISO 6, n x 360°, Rep 0.0003°, Speed 300°/s, Last 5 kg • - Reinraum: Varianten bis Klasse ISO 6 (höher auf Anfrage) • - Vakuum: alle Bereiche HV / UHV bis 10-8 mbar • ...