Seit mehr als 50 Jahren gilt die phasenschiebende Fizeau-Interferometrie als die bevorzugte Technologie für hochpräzise Oberflächenform-Messgeräte. Diese Interferometer ermöglichen schnelle und zuverlässige Messungen von Oberflächenformfehlern und transmittierten Wellenfronten optischer Komponenten, Systeme und Baugruppen. Von Forschungsumgebungen bis hin zu einer Vielzahl industrieller Anwendungen bieten Laserinterferometer ein hohes Maß an Datenrückverfolgbarkeit für die Qualitätssicherung und Analyse nach der Produktion. Sie sind zu einem integralen Bestandteil des Fertigungsprozesses geworden.
Zygos Qualifire ist ein Sprung nach vore für Laserinterferometer.
Ein neuer Ansatz für die phasenschiebende Interferometrie
Die typische Lichtquelle in modernen Fizeau-Interferometern ist ein kohärenter Laser-Spot, also eine punktförmige Quelle. Im Großen und Ganzen funktioniert dies sehr gut. Während Phasenverschiebung und feste Beleuchtung der Goldstandard bleiben, sucht Zygo ständig nach Verbesserungen und hat die Vorteile der dynamischen Beleuchtung mit der neuen Flying Spot-Option erforscht. Das Qualifier-Laserinterferometer bietet viele neue, innovative Funktionen.
The Qualifire laser interferometer offers many novel, new features.
- Flying Spot: neue Technik zur Reduzierung von kohärenten Artefakten
- Plano Cavity Autofocus
- Stabiler Zoom
- Smart Accessories