Optisches Profilometer Nexview™ LS650

3DinterferometrischLabor

Das Nexview™ 650 Messsystem ist ein Inspektionswerkzeug für die automatische Messung von Spritzgusswerkzeugen, Leiterplatten, Glasplatten und anderen Proben, die ein erweitertes Arbeitsvolumen von bis zu 650 x 650 mm erfordern. Es bietet 2D- und 3D-Messungen einer Vielzahl von Oberflächenmerkmalen mit vertikaler Präzision im Sub-Nanometerbereich und lateraler Präzision im Sub-Mikrometerbereich. Starke Leistung Die Coherence Scanning Interferometry (CSI) ist die Messtechnologie, die das Herzstück des Nexview™ 650 Systems bildet. Diese berührungslose Technik bietet hochpräzise und hochwertige Vorteile für die Oberflächenmesstechnik, darunter: - Sie misst praktisch alle Arten von Oberflächen, von rau bis superglatt, einschließlich dünner Schichten, steiler Neigungen und großer Stufen. - Die Messgenauigkeit im Subnanometerbereich ist unabhängig von der Feldvergrößerung - Lehrenfähige Leistung - außergewöhnliche Präzision und Wiederholbarkeit für die anspruchsvollsten Produktionsanwendungen. - SureScan™ Vibrationstoleranztechnologie - robuster Betrieb in praktisch jeder Umgebung. - Mx™ Software ermöglicht den nahtlosen Datenaustausch mit anderen ZYGO Profilern, einschließlich ZeGage™ Pro, NewView™ 9000 und Nexview™ NX2.