Linearer Positionssensor ZPS™

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ZPS-SensorZYGOs ZPS™-System misst die Absolutposition mittels ultrakompakter optischer Sensoren, die sich leicht in Hochpräzisionsanwendungen wie etwa verformbare Spiegel und Linsenpositionierung integrieren lassen. Das optische Sensorsystem bietet bis zu 64 synchronisierte Kanäle für die hochpräzise, berührungslose absolute Positionsmessung über einen Bereich von 1,2 mm. Die Messauflösung beträgt 0,01 nm bei einer Messstabilität von ≤ 1 nm/Tag. Die optischen Sensoren erzeugen keine Wärme und sind unempfindlich gegenüber elektromagnetischen Interferenzen, weshalb sich das ZPS-System ideal für Hochpräzisionsanwendungen eignet, welche durch diese Faktoren beeinträchtigt werden können. Die ultrakompakten Sensoren werden über Glasfaserkabel mit dem kompakten zentralisierten Gehäuse verbunden. Die firmeneigene ZPS™-Software von ZYGO bietet eine Plug-and-Play-Verbindung zwischen dem ZPS-System und Ihrem Computer, sodass Sie Ihr System schnell und einfach betriebsbereit machen können. Das ZPS-System wird in der Regel in Systemen mit geschlossenem Regelkreis genutzt, die einen kontinuierlichen Stream von hochpräzisen Positionsdaten von mehreren Sensoren erfordern, um ein mögliches Abdriften zu kompensieren und eine präzise Positionierung und Ausrichtung beizubehalten. Das System kann außerdem als Hilfsmittel in der Forschung, Entwicklung und technischen Planung sowie in Fertigungsumgebungen zum Ausrichten von Prüfvorrichtungen oder zum Quantifizieren der dynamisch-mechanischen Leistung genutzt werden.