Interferometer zur Verschiebungsmessung ZMI™ Series

optischLaserfür Lithografieanwendung

Die standardmäßigen Interferometer-Konfigurationen von ZYGO unterstützen eine Vielzahl verschiedener Messszenarien. Die meisten Interferometer unterstützen eine Messausrichtung quer durch das Objekt oder im rechten Winkel zu diesem und können für den Einsatz im Vakuum gefertigt werden. Dieses Gerät misst Retroreflektorziele für das Verfolgen von Objekten, die sich primär in einer linearen Dimension bewegen oder sich um einen festen Punkt drehen. ZYGO bietet Linear-Interferometer in Standard- und Kompaktgröße, um unterschiedlichsten Platzanforderungen gerecht zu werden. Beispiele: Fadenkreuztisch, Portalsysteme, Lenkspiegel Dieses Gerät misst Planspiegelziele für das Verfolgen von Objekten, die sich in mehreren linearen Dimensionen mit begrenzter Rotation bewegen. Planspiegel-Interferometer von ZYGO wurden für eine hohe Stabilität entwickelt, um thermische Fehler zu mindern. Beispiele: Wafer-Tische, Stapeltischsysteme Dieses Gerät misst die Veränderung des Brechungsindex zur Kompensation anderer Messachsen. Der kompakte Wellenlängenkompensator von ZYGO bietet ein hochpräzises Feedback der Indexveränderung für eine optimale Verschiebungsmessung unter verschiedensten Umgebungsbedingungen.