Vakuumsensor / Kapazität mit Membran ZNX series

analogmit Steuergerätkompakt

Der ZNX Sensor ist ein berührungsloses Positionsmesssystem, das auf dem Prinzip der kapazitiven Mikrometrie basiert. Zwei Sensorplatten (ein Target und ein Probe) bilden einen parallelen Plattenkondensator. Der Abstand zwischen diesen beiden Platten kann mit der entsprechenden elektronischen Steuerung auf besser als 0,1 nm gemessen werden, mit einem Bereich bis zu 1,25 mm, einem Frequenzgang bis zu 5 kHz und einer Linearität von 0,02 %. Da der ZNX-Sensor ein berührungsloses Verfahren ist, ist er frei von Hysterese. An der Messstelle wird keine Energie verbraucht. - Präzisionsmessung im Pikometerbereich - Stabilität der Messung - Abstimmbar auf die Anforderungen der Anwendung - Optionen für eine breite Palette von Anwendungen -Hauptmerkmale- Bereich 20 ~ 1250μm; Subnanometer-Positionsauflösung; Null-Hysterese; Linearitätsfehler bis zu 0,02%; Bandbreite bis zu 5 kHz; Super Invar Begriffe verfügbar; Vakuum-kompatible Optionen; Linearitätsfehler (%): <0,08, <0,08, <0,06, <0,05; Kurzer Bereich μm: 20, 100, 250; Großer Bereich μm: 50, 100, 500; Analoger Ausgang: ± 5, ± 5, ± 5, 8; Maximale Bandbreite: 5, 5, 5, 12,5Khz.