Der MEMS-NO2-Gassensor verwendet eine MEMS-Mikrofertigungs-Heizplatte auf einer Si-Substratbasis. Das in der sauberen Luft verwendete gasempfindliche Material ist ein Metalloxid-Halbleitermaterial mit niedriger Leitfähigkeit. Wenn der Sensor einer Gasatmosphäre ausgesetzt ist, ändert sich die Leitfähigkeit mit der erkannten Gaskonzentration in der Luft. Je höher die Gaskonzentration, desto höher die Leitfähigkeit. Mithilfe einer einfachen Schaltung kann die Leitfähigkeitsänderung der Gaskonzentration entsprechend dem Ausgangssignal umgewandelt werden.
Anwendung
Wird hauptsächlich in stationären oder tragbaren NO2-Detektoren oder Alarmen verwendet.
Eigenschaften
MEMS-Technologie, robuste Konstruktion
Hohe Empfindlichkeit gegenüber NO2-Gas
Kleine Abmessungen und geringer Stromverbrauch
Schnelle Antwort und Lebenslauf
Einfache Antriebsschaltung, lange Lebensdauer