Der MEMS-Rauchgassensor verwendet eine MEMS-Mikrofertigungs-Heizplatte auf einer Si-Substratbasis, wobei gasempfindliche Materialien in sauberer Luft mit Metalloxid-Halbleitermaterial mit geringer Leitfähigkeit verwendet werden. Wenn der Sensor einer Gasatmosphäre ausgesetzt ist, ändert sich die Leitfähigkeit mit der erkannten Gaskonzentration in der Luft. Je höher die Gaskonzentration, desto höher die Leitfähigkeit. Mithilfe einer einfachen Schaltung kann die Leitfähigkeitsänderung der Gaskonzentration entsprechend dem Ausgangssignal umgewandelt werden.
Anwendung
Meistens verwendet in stationären oder tragbaren Rauchmeldern oder Alarmen für den privaten und industriellen Einsatz
Eigenschaften
MEMS-Technologie, robuste Konstruktion
Hohe Empfindlichkeit gegenüber brennbaren Gasen
Kleine Abmessungen und geringer Stromverbrauch
Schnelle Antwort und Lebenslauf
Einfache Antriebsschaltung, lange Lebensdauer