Der MEMS-Sensor für brennbare Gase verwendet eine MEMS-Mikrofabrikations-Heizplatte auf einer Si-Substratbasis, gasempfindliche Materialien, die in der sauberen Luft verwendet werden, mit Metalloxid-Halbleitermaterial mit geringer Leitfähigkeit. Wenn der Sensor einer Gasatmosphäre ausgesetzt wird, ändert sich die Leitfähigkeit entsprechend der erfassten Gaskonzentration in der Luft. Je höher die Konzentration des Gases ist, desto höher ist die Leitfähigkeit. Mithilfe einer einfachen Schaltung kann die Änderung der Leitfähigkeit der Gaskonzentration entsprechend dem Ausgangssignal umgewandelt werden.
Anwendung
Gasleckerkennung für Mobiltelefone, Computer und andere Anwendungen der Unterhaltungselektronik; gilt auch für den privaten und gewerblichen Einsatz von Geräten zur Überwachung von brennbaren Gaslecks, Gasleckdetektoren und Brand-/Sicherheitserkennungssystemen.
Eigenschaften
MEMS-Technologie, robuste Konstruktion
Hohe Empfindlichkeit gegenüber brennbaren Gasen
Kleine Abmessungen und geringer Stromverbrauch
Schnelle Antwort und Lebenslauf
Einfache Antriebsschaltung, lange Lebensdauer