Der MEMS-H2S-Gassensor verwendet eine MEMS-Mikrofertigungs-Heizplatte auf einer Si-Substratbasis, wobei gasempfindliche Materialien in sauberer Luft mit Metalloxid-Halbleitermaterial mit geringer Leitfähigkeit verwendet werden. Wenn der Sensor einer Gasatmosphäre ausgesetzt ist, ändert sich die Leitfähigkeit mit der erkannten Gaskonzentration in der Luft. Je höher die Gaskonzentration, desto höher die Leitfähigkeit. Mithilfe einer einfachen Schaltung kann die Leitfähigkeitsänderung der Gaskonzentration entsprechend dem Ausgangssignal umgewandelt werden.
Anwendung
Tragbarer und stationärer Schwefelwasserstoffmonitor und H2S-Detektor
Eigenschaften
MEMS-Technologie, robuste Konstruktion
Hohe Empfindlichkeit gegenüber H2S-Gasen
Kleine Abmessungen und geringer Stromverbrauch
Schnelle Antwort und Lebenslauf
Einfache Antriebsschaltung, lange Lebensdauer