Der MEMS-NH3-Gassensor verwendet eine MEMS-Mikrofertigungs-Heizplatte auf einer Si-Substratbasis, gasempfindliche Materialien werden in sauberer Luft mit Metalloxid-Halbleitermaterial mit geringer Leitfähigkeit verwendet. Wenn der Sensor einer Gasatmosphäre ausgesetzt ist, ändert sich die Leitfähigkeit mit der erkannten Gaskonzentration in der Luft. Je höher die Gaskonzentration, desto höher die Leitfähigkeit. Mithilfe einer einfachen Schaltung kann die Leitfähigkeitsänderung der Gaskonzentration entsprechend dem Ausgangssignal umgewandelt werden.
Anwendung
Wird häufig zur Gaserkennung in Kühlschränken, zur Ammoniakleckerkennung in Kühlhäusern und zur Belüftungssteuerung in der landwirtschaftlichen Viehzucht verwendet.
Eigenschaften
MEMS-Technologie, robuste Konstruktion
Hohe Empfindlichkeit gegenüber NH3-Gasen
Kleine Abmessungen und geringer Stromverbrauch
Schnelle Antwort und Lebenslauf
Einfache Antriebsschaltung, lange Lebensdauer