Der MEMS-Kohlenmonoxid-Gassensor verwendet eine MEMS-Mikrofertigungs-Heizplatte auf einer Si-Substratbasis, wobei gasempfindliche Materialien in sauberer Luft mit Metalloxid-Halbleitermaterial mit geringer Leitfähigkeit verwendet werden. Wenn der Sensor einer Gasatmosphäre ausgesetzt ist, ändert sich die Leitfähigkeit mit der erkannten Gaskonzentration in der Luft. Je höher die Gaskonzentration, desto höher die Leitfähigkeit. Mithilfe einer einfachen Schaltung kann die Leitfähigkeitsänderung der Gaskonzentration entsprechend dem Ausgangssignal umgewandelt werden.
Anwendung
Es eignet sich zur Erkennung von Kohlenmonoxidlecks im Wohn- oder Industriebereich.
Eigenschaften
MEMS-Technologie, starke Struktur
Hohe Empfindlichkeit gegenüber CO-Gas
Hohe Empfindlichkeit, geringer Stromverbrauch
Schnelle Antwort und Lebenslauf
Einfache Antriebsschaltung