Der MEMS-Atemgeruchsgassensor verwendet eine MEMS-Mikrofertigungs-Heizplatte auf einer Si-Substratbasis, wobei gasempfindliche Materialien in sauberer Luft mit Metalloxid-Halbleitermaterial mit geringer Leitfähigkeit verwendet werden. Wenn der Sensor einer Gasatmosphäre ausgesetzt ist, ändert sich die Leitfähigkeit mit der erkannten Gaskonzentration in der Luft. Je höher die Gaskonzentration, desto höher die Leitfähigkeit. Mithilfe einer einfachen Schaltung kann die Leitfähigkeitsänderung der Gaskonzentration entsprechend dem Ausgangssignal umgewandelt werden.
Anwendung
Mini-Atemdetektor
Eigenschaften
MEMS-Technologie, starke Struktur
Hohe Empfindlichkeit gegenüber H2S, Alkohol und Acetongas
Kleine Größe, hohe Empfindlichkeit, geringer Stromverbrauch
Schnelle Reaktion und Wiederaufnahme, Einfache Antriebsschaltung, Lange Lebensdauer