Flachheizelement

pyrolytisches Bornitrid (PBN)

Element Hochreines und leistungsstarkes pyrolytisches Bornitrid wird als Substrat für das PBN-Heizelement verwendet. Pyrolytischer Graphit (PG) wird durch das CVD-Verfahren als Leiter und Heizelement auf die Oberfläche der PBN-Platten aufgebracht. Da sowohl PG als auch PBN extrem rein und in einem Vakuum oder einer inerten Atmosphäre sehr stabil sind, könnte das PBN-PG-Heizelement sehr langlebig sein und die Kammer sauber halten. Es kann in sehr kurzer Zeit auf 1600°C erhitzt werden, ohne dass dabei Gaskomponenten freigesetzt werden. Diese Heizelemente sind ideale Produkte für die Halbleiterindustrie und für Anwendungen, die hohe Temperaturen, Hochvakuum und hohe Reinheit erfordern.