Keramik für Ionenquelle

PlatteRohrin Stabform

C.Anwendungsfälle von Ionenimplantator-Zubehör und Keramik-Zubehör 1. Ionenimplantator-Komponenten Zu den Anwendungsbeispielen für Ionenimplanter-Zubehör gehört die Herstellung von Schlüsselkomponenten von Ionenimplantern, wie Lager, Vakuumsauger, elektrostatische Spannvorrichtungen, Düsen, Filamente, Kathodenmodule usw. Aufgrund ihrer großen Härte, hohen Festigkeit und hohen Wärmebeständigkeit können keramische Zubehörteile die Leistung und Zuverlässigkeit von Ionenimplantern verbessern. 2. Gehäuse für Halbleiterfertigungsanlagen IonenimplanterteileBeispiele für Halbleiterfertigungsanlagen für keramisches Zubehör sind die Schlüsselkomponenten für die Herstellung von Halbleiterfertigungsanlagen, wie z. B. Gehäusesubstrate, Isoliermaterialien usw. Aufgrund ihrer ausgezeichneten elektrischen Isolierung und chemischen Stabilität können keramische Zubehörteile den langfristigen stabilen Betrieb von Halbleiterfertigungsanlagen in rauen Umgebungen gewährleisten.