Keramikplatte

BornitridAluminiumnitridIsolation

BN-AlN-Keramik wird durch Sintern von Bornitrid- (BN) und Aluminiumnitrid- (AIN) Pulver hergestellt. Es hat eine ausgezeichnete elektrische Isolierung, Wärmeleitfähigkeit, hohe Festigkeit, Beständigkeit gegen Temperaturschocks und eine starke Beständigkeit gegen Halogengasplasma, was eine breite Palette von Anwendungen bietet, einschließlich Komponenten für Halbleiterproduktionsanlagen und Komponenten, die eine effektive Wärmeableitung erfordern. Die Ionenquelle ist ein Gerät, das atomare und molekulare Ionen erzeugt, die sich in der Vakuumkammer befinden. Der Aluminiumnitrid/Bornitrid-Verbundwerkstoff ist ein hervorragender elektrischer Isolator, hat eine ausgezeichnete Wärmeleitfähigkeit, ist vakuumdicht und gibt kaum Gas ab. Daher spielt es in Ionenquellen die Rolle eines Kühlkörpers und einer Wärmeübertragungsplatte. Vorteile des Materials: Hohe mechanische Festigkeit. Hohe Wärmeleitfähigkeit. Geringe thermische Ausdehnung. Geringer dielektrischer Verlust. Ausgezeichnete elektrische Isolierung. Hohe Korrosionsbeständigkeit - wird von geschmolzenen Metallen nicht benetzt. Hervorragende Bearbeitbarkeit - BN-AlN kann zu hochpräzisen, komplexen Formen verarbeitet werden. Es besitzt eine ausgezeichnete Vakuumdichtigkeit und gibt kaum Gas ab. Hochfrequente Welleneigenschaften, die sichtbares Infrarotlicht leicht durchlassen.