Innovacera liefert poröse keramische Platten/Scheiben für Vakuumspannvorrichtungen, die hauptsächlich zum Stützen und Spannen von Halbleiterwafern beim Schleifen und Trennen verwendet werden. Es wird in den Prozess der Ausdünnung, Dicing, Clearance, Transport, und so weiter angewendet.
Nur eine Größe auf Lager (Dia200*T3mm, 15um), kundenspezifische Größe ist verfügbar.
Hauptanwendungsgebiet:
- Neue und überholte, poröse Keramikfutter für Disco, ADT, K & S, Applied Materials TSK, OKAMOTO, Micro Automation, Load Point, etc.
- 6″, 8," 12″ sind reguläre Größen, und Porengröße umfassen 15um, 30um, 50um, 100um.
Materialien sind Tonerde (Farbe: weiß, hellbraun, dunkelbraun, blau-grau)
- Benutzerdefinierte Größe (wie Quadrat, ovale Form, oder unregelmäßige Formen) ist für uns verfügbar.
Eigenschaften umfassen:
Hohe Ebenheit und Parallelität
Kompakte und gleichmäßige Mikrostruktur mit hoher Festigkeit
Gute Permeabilität und gleichmäßige Adsorptionsaffinität
Lange Lebensdauer
Leichtes Abrichten.
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