Innovacera nutzt sein umfassendes Keramik-Know-how und seine Prozessfähigkeiten, um Keramiken mit genau kontrollierter Porosität herzustellen. Poröse Keramiken werden häufig für die chemische Filtration und Flüssigkeitstrennung verwendet.
Die porösen Keramiken von Innovacera werden aus Aluminiumoxid und Siliziumkarbid hergestellt. Die starke, gleichmäßig poröse Keramik hat eine offene Porosität von 40-50 % mit einer gewundenen Porenstruktur und ist in Porengrößen von 1 bis 100 Mikron erhältlich.
Drei Hauptanwendungen von poröser Keramik:
Vakuum Chuck, wie z.B. Scribing Machine Vacuum Chuck, Silizium Wafer Vacuum Chuck.
Adsorptionsplattform.
Aufhängeplattform.
Sie werden vor allem in der Halbleiterindustrie eingesetzt, z.B. bei der Bearbeitung von LED-Wafern.
Die mikroporöse keramische Arbeitsscheibe ist ein spezielles Werkzeug für die Adsorption und Lagerung in verschiedenen Halbleiter-Wafer-Produktionsprozessen und wird für Prozesse wie Ausdünnen, Würfeln, Reinigen und Handhabung verwendet.
Sie können mit Japan, Deutschland, Israel, den Vereinigten Staaten und inländischen Geräten, wie Disco, ADT, K & S, Applied Materials TSK, OKAMOTO, Micro Automation, Load Point verwendet werden.
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