Der XY-XLS besteht aus zwei übereinander gestapelten XLS-Tischen ohne zusätzliche Adapterplatte. Mit dem XY-XLS kann man in 2-DOF mit Nanometergenauigkeit und Wiederholgenauigkeit positionieren. Durch das Ultraschallantriebsprinzip des XLS-Tisches hat der XY-XLS eine lange Lebensdauer, schnell, geräuschlos und hält seine Position im ausgeschalteten Zustand. Man kann sich sogar mit sehr niedrigen und konstanten Geschwindigkeiten (µm/s) bewegen.
Diese Eigenschaften machen ihn zum perfekten Mikroskoptisch oder Multi-DOF-Positionierer für materialwissenschaftliche Anwendungen. Der XY-XLS kann im Vakuum eingesetzt werden und besteht aus nichtmagnetischen Materialien.
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