Der Xeryon Lineartisch (XLS) ist ein präziser Lineartisch, der von einem geräuschlosen Ultraschall-Piezomotor angetrieben wird. Dies ermöglicht eine schnelle Positionierung mit Nanometergenauigkeit. Der selbsthemmende Piezomotor hält die Position des Tisches, wenn er nicht mit Strom versorgt wird. Dadurch werden der Energieverbrauch und die Wärmeentwicklung erheblich reduziert. Der integrierte Encoder hat eine Auflösung von 10 nm.
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