Optisches Inspektionssystem

automatischfür Produktionfür Wafer

Dieses System kann die Wafer, die für die Produktion verwendet werden sollen, automatisch prüfen und sortieren. Es verfügt über mehrere intelligente Funktionen wie Deep Learning, maschinelles Sehen, Fehlermeldung und eine MES-Schnittstelle für das Werk. Kapazität Durchschnittliche Kapazität von bis zu 8500 Wafern/Stunde, nachgewiesen in der tatsächlichen Massenproduktion Erweiterungsfähigkeit Das System kann mit Trägern arbeiten, die 25 bis 150 Wafer laden, und es kann mit einem Wafer-Reinigungssystem integriert werden Effizienz Doppelstocktrays, die die Arbeitszeit der Mitarbeiter reduzieren Vorteil Schneller Kundendienst und niedrige Wartungskosten Präzision Hochgeschwindigkeitsprofilsensoren werden für das Dickenmessmodul und hochauflösende Kameras für die Module zur Größen- und Fleckenprüfung eingesetzt, um die Genauigkeit der Prüfung zu verbessern Genauigkeit Die Seitenflächen in X- und Y-Richtung werden geprüft, um eine fehlende Erkennung von Fehlern zu minimieren; Mikrorisse können dank der genauen Prüfung des Mikrorissmoduls in X-Richtung nicht unentdeckt bleiben.