Vakuumdrucksensor WUD-2 series

Dünnschichtdigital3-Kabel

Halbleiter-, Flachbildschirm- und Photovoltaikindustrie Reinstgasversorgung an Halbleiterfertigungssystemen Leistungsmerkmale Messen von Drücken mit hoher Genauigkeit 0,15 % RSS Hervorragende Langzeitstabilität Schirmung und Unterdrückung von Signalrauschen Vakuum-referenzierte Druckmessung Aktive Temperaturkompensation Beschreibung Zuverlässig Die Ultra High Purity Transducer der Serie WUD-2x verbinden neueste Transducer-Konzepte mit analogen Ausgangssignalen. Dadurch werden sicherste und genaueste Druckmessungen gewährleistet, um den heutigen Marktanforderungen gerecht zu werden. Die Druckmessung gegen echte Vakuumreferenz, sowie elektronische Maßnahmen zur Schirmung gegen Störeinstrahlung und Unterdrückung des Signalrauschens gewährleistet hochgenaue Druckmessung und hervorragende Langzeitstabilität. Eine aktive Temperaturkompensation verringert den Einfluss von Temperaturänderungen auf den Transducer und erlaubt auch in Anwendungsfällen mit starken Temperaturschwankungen, z. B. Joule-Thomson Effekt bei Gasexpansion, einen sicheren Betrieb. Die Transducer WUD-25 (flow through) und WUD-26 (surface mount) sind speziell für hohe Verwindungsbelastungen, die beim Einbau auftreten können, ausgelegt. Der spezielle Aufbau des Dünnfilmsensors verhindert Sensorausfälle, die aufgrund von Belastungen am Prozessanschluss oder an Schweißnähten auftreten können. Vielseitig Der WUD-2x ist problemlos in „On-Tool“-Gasverteilungssystemen einsetzbar. Die leuchtstarke LED-Anzeige ist drehbar und in jeder Lage gut ablesbar. Über zwei programmierbare Schaltausgänge können anwendungsspezifische Überwachungs- und Steuerungsaufgaben realisiert werden.