POWERGLIDE® ist eine einzigartige Verkörperung von Watlows Adaptive Thermal Systems (ATS™)-Technologie und kombiniert Temperatur- und Leistungsregelung in einem ATS-fähigen Gerät, das ideal für Halbleiterverarbeitungsanwendungen ist.
POWERGLIDE bietet mehrere Kommunikationsprotokolle, einschließlich EtherCAT®, das für die Halbleiterfertigungsindustrie optimiert ist.
Merkmale und Vorteile
Eingebauter automatischer Kalibrierungsalgorithmus
Eliminiert die mit der Kalibrierung verbundenen Ausfallzeiten
Temperaturregelung auf Basis von Heizmaterialien mit hohem TCR
Ermöglicht einen geschlossenen Regelkreis für alle Zonen
Enthält keramische Regelalgorithmen
Behält die Grenzen der Materialien zum Schutz des Sockels bei
Bietet eine programmierbare, zustandsbasierte PID-Regelung
EtherCAT®-Kommunikationsprotokoll
Gewährleistet die Einhaltung von Industriestandardprotokollen
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