Heizsystem STREAMLINE™

Das Erwärmen und Steuern der thermischen Prozesse an den Gasleitungen, Vorleitungen und Abgasleitungen in einem Halbleiterwerkzeug ist aufgrund der Anzahl der Komponenten und des Verdrahtungslabyrinths in einem kleinen Bereich typischerweise komplex. Diese Faktoren machen Installation und Wartung mühsam, zeitaufwändig und teuer. Außerdem benötigen ’die Kundenvon heute mehr thermische Daten über den Zustand des Systems, um die Temperaturgleichförmigkeit sicherzustellen, was erforderlich ist, um die Leitungen reibungslos zu betreiben. Darüber hinaus können die Geschäftszyklen des Halbleitermarktes zu langen Vorlaufzeiten führen, wenn das Angebot nicht mit der Nachfrage Schritt halten kann. Diese und andere Probleme machen die Aufgabe der Halbleitertechniker schwieriger als je zuvor. Aufgrund der langjährigen Erfahrung auf dem Halbleitermarkt und der tiefgreifenden Fachkenntnisse hat Watlow® kürzlich die STREAMLINE™ Gasversorgungs-Thermosystemlösung mit seinen patentierten Adaptive Thermal Systems® (ATS™)-Technologien entwickelt, die helfen können, die mit der Komplexität typischer Systeme verbundenen Marktschmerzen zu lösen. Die Lösungvon Watlow ist ein innovatives, ’dynamisches und komplettes thermisches System, das Temperaturgleichförmigkeit, reduzierten Platzbedarf, umfangreiche Diagnosen und schnellere Entwicklungszeiten bietet. Watlow hat die störenden Komponenten vom Heizelement entfernt und diese Fähigkeiten und Funktionen in den EZ-ZONE® RMT Temperaturregler verschoben, der eine Regelung mit geschlossenem Regelkreis mit integriertem Übertemperaturschutz für jedes Heizelement mit nur zwei Drähten bietet.