Kammerofen

VakuumautomatischIndustrie

Öfen Unsere Öfen sind vollautomatisch mit komfortablen Werkzeugen und Design für beide Prozesse mit unterschiedlichen regelbaren Heizzonen, ganz nach den Fähigkeiten und Bedürfnissen des Kunden. Unsere Anlagen sind für diese Wafertypen mit den Durchmessern 100, 150, 200, 300 mm ausgelegt. VAKUUMÖFEN Vegatec entwickelt und produziert Vakuumöfen mit allen Automatisierungssystemen für Labor und Industrie der Mikroelektronik, Nanoelektronik und Photovoltaik. Diese Öfen sind wie folgt; Niederdruck-Chemische Dampfabscheidung (LPCVD) Prozesse sind; Siliziumnitrid TEOS Oxid Niedertemperatur-Oxid (LTO) Hochtemperatur-Oxid (HTO) Dotiertes Polysilizium Siliziumoxidnitrid Polysilizium Silanisierung Plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD) Prozesse sind; Siliziumoxid Siliziumnitrid Siliziumoxidnitrid Phosphor- und Bor-Dotierung Vakuumglühen Allgemeine Eigenschaften von Vakuumöfen Benutzerfreundlich und wartungsfreundlich durch benutzerfreundliches Design Ofenraum und freitragender Probenhalter aus hochreinem Quarzglas Arbeitsfähig in bis zu Reinräumen der Klasse 10 Möglichkeit, unter Vakuum bis zu 10-6% zu arbeiten Lange Lebensdauer durch hochwertige Komponenten Separat regelbare Heizzonen Einfache Bedienung der Automatisierungsschnittstelle Stapelbare Ofenrohre für kompakte Bauweise verschiedener Prozesse gleichzeitig Möglichkeit des manuellen oder automatischen Ladens Kapazität nach Kundenwunsch Labor- oder Industriemaßstab