Kammerofen

Oxidationunter Schutzatmosphärefür die Elektronik

Öfen Unsere Öfen sind vollautomatisiert mit komfortablen Werkzeugen und für beide Prozesse mit verschiedenen regelbaren Heizzonen ganz nach den Möglichkeiten und Bedürfnissen des Kunden ausgelegt. Unsere Anlagen sind für diese Wafertypen mit den Durchmessern 100, 150, 200, 300 mm ausgelegt. ATMOSPHÄRISCHE ÖFEN Vegatec entwickelt und fertigt Atmosphärenöfen mit dem gesamten Automatisierungssystem für Labor und Industrie der Mikroelektronik, Nanoelektronik und Photovoltaik. Diese Öfen sind wie folgt; Oxidationsöfen (Nassoxidation und trockene Oxidation) Diffusions-Öfen Doping-Öfen Glühöfen Allgemeine Merkmale von Atmosphärenöfen Einfache Bedienung und Wartung dank benutzerfreundlichem Design Ofenraum und freitragender Probenhalter aus hochreinem Quarz Arbeitsfähig in Reinräumen bis Klasse 10 Lange Lebensdauer dank hochwertiger Komponenten Separat regelbare Heizzonen Einfache Bedienung der Automatisierungsschnittstelle Stapelbare Ofenrohre für die kompakte Ausführung verschiedener Prozesse gleichzeitig Möglichkeit der manuellen oder automatischen Beladung Kapazität je nach Kundenwunsch Labor- oder Industriemaßstab