MOCVD-Auftragsmaschine TurboDisc® MaxBright® MHP™

Dünnschicht

Das TurboDisc® MaxBright® MHP? GaN MOCVD Multi-Reaktor System stellt das neueste modulare hohe Leistung System dar, das besonders entworfen ist, um ausgezeichnetes Ergebnis die bis 20% Innerhalboblate Wellenlänge-Gleichförmigkeit Verbesserung über dem MaxBright des ähnlichen Abdruckes, der Betriebsfähigkeit, des Nutzens und der Plankonfiguration zu produzieren. Die Kleinteilzuführungen des Multireaktors bietet verbesserte Wellenlängegleichförmigkeit über allen Oblaten an, um höhere Ergebnisse zu erzielen. MaxBright MHP bietet auch den niedrigeren Besitz an, der über dem MaxBright gekostet wird. Das System kombiniert mehrfache hohe Durchsatz MOCVD Reaktoren in einem modularem 2 - oder Blockarchitektur mit 4 Reaktoren, um Produktion-erwiesene konstante Technologie FlowFlange® Veecos und Automatisierung Sachkenntnis wirksam einzusetzen. Gegründet auf hoch-erfolgreichem Design K465i Veecos, schließt das System verbesserte Reaktoren, das die erweiterte Oblatekapazität sicherstellt und vorrückt, Eigentümer, thermische Steuerregeltechnologie mit ein.