PVD-Auftragsmaschine NEXUS DLC-XPVD durch thermisches Verdampfenfür diamantartige Kohlenstoff-Beschichtung
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Eigenschaften
- Methode
- PVD
- Technologie
- PVD durch thermisches Verdampfen
- Art der aufgebrachten Schicht
- für diamantartige Kohlenstoff-Beschichtung
Beschreibung
Das NEXUS DLC-X Depositionssystem ist eine ultraharte TFMH-Beschichtungstechnologie, die korrosionsbeständig ist. Es wird verwendet, um gleichmäßige, dichte und wiederholbare dünne diamantähnliche Kohlenstoffschichten (DLC) abzulagern, um sicherzustellen, dass TFMH-Gleitlacke und Landepads länger halten
Die NEXUS DLC-X profitiert von der ersten kommerziellen pulsfilternden Kathodenbogenquelle der Branche. Dies ermöglicht eine Sub-20A-Überschichtdicke und unterstützt eine verbesserte Stufenabdeckung für eine höhere Prozessausbeute im Vergleich zu früheren Generationen
Neben der Schichthärte und Wiederholbarkeit bietet der gepulste gefilterte kathodische Lichtbogen eine hervorragende Gleichmäßigkeit. Eine dichte, pinhole-freie Silizium-Saatgutschicht wird durch die weitreichende, niederdruckige PVD erzeugt. Es ist auch in der Lage, einen reaktiven PVD-Prozess durchzuführen. Ein stabiler Betrieb von 75 Volt bis 300 Volt Strahlenergie wird durch die abstimmbare, energiearme NEXUS 420 Ionenstrahlätzquelle erreicht.
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