PVD-Auftragsmaschine SPECTOR-HT®

ionenstrahlgestützte

Der SPECTOR-HT ist eine PVD-Abscheidungsmaschine, die mit einem Ionenstrahl unterstützt wird. Es ist in der Lage, ein optimales Produktivitätsniveau zu erreichen, indem es einen maximalen Durchsatz für präzise optische Dünnschichten bietet. Diese Maschine wurde speziell entwickelt, um die Depositionsraten, Losgrößen und die Sollauslastung zu erhöhen und die Prozesszeit zu verkürzen. Er ist mit einer innovativen Werkzeuggeometrie ausgestattet, die die Gleichmäßigkeit des Materials deutlich verbessert. Eine Zielrate von 30% für den Materialeinsatz wird durch die PVD-Abscheidemaschine SPECTOR-HT deutlich verbessert.