Gasverteilersystem GSDS-Series

Die Gas Source Delivery Systems (GSDS) von Veeco werden hauptsächlich für den Regelbetrieb von Veeco MBE-Gasquellen eingesetzt. Sie können auch für die genaue Steuerung von Gasen und Verriegelungen sowie zur Überwachung von Prozessen für eine Reihe von Gasarten eingesetzt werden. Diese Geräte verfügen über Molly® ECS1 Wachstumskontroll-Software-Systeme, die eine schnelle Integration in die bestehenden Systeme ermöglichen. Die Gasversorgungssysteme sind in 3 Modellkonfigurationen erhältlich, die speziell entwickelt und hergestellt werden, um den Kundenanforderungen, Anwendungsanforderungen und Budgets gerecht zu werden. Alle Pakete beinhalten manuelle Gasleitungsabsperrventile für jeden Stromkreis, Gasfilterreiniger und Massendurchflussregler. Zusätzlich sind pneumatisch betätigte Run-and-vent-Ventile vorgesehen.