3D-Laser-Bearbeitungsmaschine Ultratech LSA 101

LSA101 Laser Spike Anneal System Verwendet, indem man rund um den Globus IDMs und Gießereien führt, Veecos wird System LSA101 Ultratech als die bevorzugte Technologie für Großserienherstellung von modernen Digitalbausteinen vom 40nm zu den Knoten 14nm verwendet. Errichtet auf der kundengerechten Einheit Platform™, hat das Abfrage-System des LSA grundlegende Vorteile in der Einheitlichkeit und in Niedrigdruck, die verarbeiten, die es bereitwillig anwendbar für die gegenwärtigen und zukünftigen Gerätknoten machen. Das System LSA101 ermöglicht Vergütungsanwendungen der kritischen Millisekunde, die Kunden erlauben, hohe Verarbeitungstemperaturen beizubehalten, und erzielt folglich verbesserte Gerätleistung, niedrigeres Durchsickern und höheren Ertrag. Die Standard-Konfiguration LSA101 verwendet eine einzelne Enge, die, um die Oblatenoberfläche von der Substrattemperatur zur Höchstvergütungstemperatur zu erhitzen Laserstrahl ist. Eine LSA-Doppelstrahlntechnologie wurde entwickelt, um den Anwendungsraum von Nichtschmelzlaser-Ausglühen zu erweitern und ein zweites Niederleistungslaserstrahl kennzeichnet, um der niedrigtemperaturverarbeitung zu ermöglichen. Wenn man Doppelstrahl verwendet, wird ein breiteres Laserstrahl der Sekunde enthalten, um die Oblate vorzuheizen. Das Doppelstrahlnsystem bietet Flexibilität an, wenn es die Temperatur- und Druckprofile abstimmt.