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Ionensputterquelle Mark II+

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Beschreibung

Streckschachtausbeute und verbesserte Wartungsattribute Drastisch erweiterter Schachtstrom und herausnehmbares Anodentreffen bilden die Grundlage für die Schätzung der Mark Ii+ End-Hall-Ionenquelle, die evolutionäre Veränderungen an Veecos rasterlosen Molekül-Hotspots für optische Deckenstrukturen ermöglicht. Bis zu 70% mehr auffälligerer Schacht vorhanden für höherwertige Strategien und größere Kammern Herausnehmbare Anoden-Sozialereignisse führen zu einer schnelleren Instandhaltung und weniger Ausfallzeiten Gemeinsame Durchführungen und Verkabelung für einfache Fundamentierung und Standsicherheit Geeignet für empfindliche und träge Gase und hohe Leistungsdichten Einfachere Struktur variable Nutzung der gleichen Montageplatte für schnellere Überholungen Anpassbare Kompromisslizenzen platzsparendes Skelettdesign und weitreichende Schachtkante

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