PVD-Auftragsmaschine NEXUS IBD

ionenstrahlgestützte

Diese unterstützte PVD Absetzungmaschine des IBAD Ionenlichtstrahls wird durch VEECO entwickelt. Sie ist spezifisch entworfen, um zu bieten Anwendungen, die harte Vorspannung, Leitung, Isolierung Schicht und Sensor-Stapelabsetzung einschließen. Diese Maschine wird mit einem Datenspeicher ausgerüstet, um Ergebnis von 80 Sensoren Gb/in2 zu erhöhen. Zusätzlich verwendet sie eine FMH Vorrichtung Herstellung mit Veecos Dritterzeugung NEXUS® Ionensystem der Lichtstrahl-Absetzung-(IBD). Für seine Anwendung liefert sie Unterstützung auf einer ausgedehnten Vorwähler der Vorrichtungen, die von gegenwärtigem CIP an vorgerückte CPP Vorrichtungen abfahren.