MBE-System GEN200®

Das System GEN200, hergestellt worden durch VEECO, ist ein multi-4 " Produktion MBE System. Diese Vorrichtung wird mit einer Hochleistungs- und kosteneffektiven Produktion gekennzeichnet, worin sie eine lange Kampagne, komplette eine Oblatequalität und einen umfangreichen Durchsatz für die Pumpe Laser, das HBTs und das VCSELs zur Verfügung stellt. Diese Vorrichtung ist zum Zur Verfügung stellen des niedrigste Kosten 4x4 " epiwafer Wachstum fähig. Das GEN200 multi-4 " Produktion MBE hat System die Kapazität von zwei Wachstummodulen, die den zulässigen Prozeß der verschiedenen Materialien erhöht.