Absperrklappe 311 series

pneumatischDurchsatzkontrollefür Gas

Soft Start Ventile werden zum Drosseln des Gasflusses in Vorvakuum-Leitungen verwendet: Sie verhindern: - Turbulenzen in Rohrleitungen und Behältern - Partikelkontamination in Vakuumanlagen - Bewegung von Substraten durch Turbulenzen BeschreibungSoft-Start-Ventile bestehen aus zwei Hälften einer Drosselklappe, die sich auf einer gemeinsamen Achse befinden. Die Klappen werden von einer Feder in der offenen Stellung gehalten. Die Achse ist in einem speziellen ISO-KF-Zentrierring befesigt, welcher als Ventilsitz ausgebildet ist. Soft-Start-Drosseln werden anstelle eines Zentrierrings zwischen zwei ISO-KF-Flansche montiert. Die offenen Klappen müssen in der Vakuumleitung gegen den Gasfluss gerichtet sein. Sobald die Pumpe eingeschaltet wird, entsteht in der Vorvakuumleitung ein starker Gasfluss, welcher die Klappen sofort schliesst und den Leitungsquerschnitt um ca. 99 % reduziert. Bei Erreichen eines Ddifferenzdruckes von ca. 15mbar öffnen sich die Klappen sofort und gewähren einen nahezu unbehinderten Querschnitt für den weiteren Pumpvorgang