Segmentschütz 162 series
pneumatisch gesteuertAbsperranodisiertes Aluminium

Segmentschütz - 162 series - VAT Vakuumventile AG - pneumatisch gesteuert / Absperr / anodisiertes Aluminium
Segmentschütz - 162 series - VAT Vakuumventile AG - pneumatisch gesteuert / Absperr / anodisiertes Aluminium
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Eigenschaften

Typ
Segmentschütz
Betätigung
pneumatisch gesteuert
Funktion
Absperr
Korpus
anodisiertes Aluminium
Anwendung
für die Halbleiterindustrie
Weitere Eigenschaften
kompakt, normal geschlossen, einfachwirkend, für korrosive Fluide
DN

Max: 500 mm
(19,685 in)

Min: 200 mm
(7,874 in)

Druck

Max: 7 bar
(101,5 psi)

Min: 5 bar
(72,5 psi)

Temperatur

50 °C, 80 °C, 120 °C
(122 °F, 176 °F, 248 °F)

Durchsatz

Max: 101.500 l/s
(26.813,46 us gal/s)

Min: 11.000 l/s
(2.905,89 us gal/s)

Beschreibung

Die Reihe 162 wird bei anspruchsvollen Halbleiter-prozessen wie CVD und ETCH eingesetzt.

Kataloge

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* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.