Transfertüre für Anlagen zur Produktion von Flat Panel Displays oder Dünnschicht-Photovoltaikzellen/Modulen. Die grosse L-VAT Türe wird in Flat Panel Display und Dünnschicht-PV-Produktionsanlagen auf der Atmosphärenseite bei der Ein- und Ausschleuskammer eingesetzt.
Türe
Seitliche Einbaulage
Teller
Verschiedene Dichtungsmaterialien für den Teller
Schutzschild für Teller: Schutz gegen Beschichtung oder Wärmestrahlung