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Magnetventil 061 series
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Eigenschaften
- Temperatur
Max: 120 °C
(248 °F)Min: 0 °C
(32 °F)
Beschreibung
Transferventil für Flat Panel Display Produktionssystem für Substratgrössen der Generation 4 bis 11. Das TwinVAT Transferventil wird in den FPD-Produktionsanlagen zur Isolation der Einschleus-, Transfer- und Prozesskammer eingesetzt.
Valve
Verschiedene Dichtungsmaterialien
Oberflächenbehandlungen: Aluminium hartanodisiert
Seitliche Einbaulage
Drucksensor im Ventilgehäuse
Actuator
Balgdurchführung
Kataloge
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* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.