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- Ventil und Magnetventil
- Segmentschütz
- VAT Vakuumventile AG
Segmentschütz 652 serieselektrischIsolationDruckregel
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Eigenschaften
- Typ
- Segmentschütz
- Betätigung
- elektrisch
- Funktion
- Isolation, Druckregel
- Korpus
- Aluminium
- Anwendung
- für die Halbleiterindustrie
- Weitere Eigenschaften
- kompakt, Hochleistung, für korrosive Umgebungen, mit Schrittmotor
- DN
200 mm, 250 mm
(7,874 in, 9,843 in)- Temperatur
Max: 120 °C
(248 °F)Min: 0 °C
(32 °F)
Beschreibung
Optimiert für korrosive Halbleiter- und FPD Prozesse wie Ätzen und Reinigungs-prozesse zwischen Depositprozessen. Das Ventil ist im Regelbetrieb nahezu partikelfrei. Ein grosser Vorteil ist die einfache und schnelle Wartung und der erweiterte Regelbereich.
Kataloge
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* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.