- Hydraulik - Pneumatik
- Ventil und Magnetventil
- Segmentschütz
- VAT Vakuumventile AG
Segmentschütz 651 serieselektrischIsolationDruckregel
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Eigenschaften
- Typ
- Segmentschütz
- Betätigung
- elektrisch
- Funktion
- Isolation, Druckregel
- Korpus
- Aluminium, anodisiertes Aluminium
- Anwendung
- für die Halbleiterindustrie
- Weitere Eigenschaften
- für korrosive Umgebungen, Motor, mit Schrittmotor
- DN
Max: 400 mm
(15,748 in)Min: 160 mm
(6,299 in)- Druck
Max: 7 bar
(101,5 psi)Min: 4 bar
(58 psi)- Temperatur
Max: 120 °C
(248 °F)Min: 0 °C
(32 °F)
Beschreibung
Optimiert für korrosive Halbleiter- und FPD Prozesse wie Ätzen und Reinigungsprozesse zwischen Depositprozessen. Das Ventil ist im Regelbetrieb nahezu partikelfrei. Ein grosser Vorteil ist die einfache und schnelle Wartung.
Kataloge
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* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.