Ventil für Hochvakuum 151 series
SegmentschützpneumatischIsolation

Ventil für Hochvakuum - 151 series - VAT Vakuumventile AG - Segmentschütz / pneumatisch / Isolation
Ventil für Hochvakuum - 151 series - VAT Vakuumventile AG - Segmentschütz / pneumatisch / Isolation
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Eigenschaften

Typ
Segmentschütz
Betätigung
pneumatisch
Funktion
Isolation
Korpus
Aluminium
Anwendung
für Hochvakuum, für die Halbleiterindustrie
Weitere Eigenschaften
doppeltwirkend
DN

63 mm, 100 mm, 160 mm, 200 mm, 250 mm
(2,48 in, 3,937 in, 6,299 in, 7,874 in, 9,843 in)

Druck

Max: 7 bar
(101,5 psi)

Min: 4 bar
(58 psi)

Temperatur

Max: 250 °C
(482 °F)

Min: 0 °C
(32 °F)

Durchsatz

480 l/s, 1.700 l/s, 6.000 l/s, 12.000 l/s, 19.400 l/s
(126,8 us gal/s, 449,09 us gal/s, 1.585,03 us gal/s, 3.170,06 us gal/s, 5.124,94 us gal/s)

Beschreibung

Dieses Ventil findet Einsatz in Anwendungen bei denen niedrige Partikelzahlen und geringe Schockwirkung eine grosse Rolle spielen. Reihe 150 Ventile werden vielfach in Forschung und Entwicklung aber auch in der Halbleiterproduktion eingesetzt.

Kataloge

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* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.