Ionensputterquelle MERKURION-10-BASIC
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Beschreibung
Kategorie - MERKURION® basic
Infotext - Ionengetterpumpe,
Pumpelement Diode (positive Polarität) mit
Anschlussflansch DN 40 CF und
Nennsaugvermögen 10 l/s.
Elektrischer Anschluss 10 kV SHV
(kompatibel mit SAFECONN) bei
Betriebsspannung +3000 .. +7000 V
Ausheiztemperatur (ohne Magnet) - 450 °C
Ausheiztemperatur (mit Magnet) - 250 °C
Artikel-Nr. - 374038
Verbindungstyp - CF
Nennweite DN - 40
Außendurchmesser - 70 mm
Länge - 80 mm
min. Betriebsspannung - 3 kV DC
HV-Verbindung - 10 kV SHV (SAFECONN)
mit Heizer - Nein
max. Betriebsspannung - 7kV DC
Edelgasstabil - Nein
Pumpelement - Diode
Reinheitsklasse - PCS
min. Enddruck - 1E-11 mbar
max. Startdruck - 1E-3 mbar
Nennsaugvermögen - 10 l/s
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* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.