Ionensputterquelle MERKURION-35-PRO
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Beschreibung
Kategorie - MERKURION® pro
Infotext - Ionengetterpumpe,
Pumpelement Diode
(positive Polarität) mit
Anschlussflansch DN 40 CF und
Nennsaugvermögen 39 l/s.
Elektrischer Anschluss 10 kV SHV
(kompatibel mit SAFECONN) bei
Betriebsspannung +3000 .. +7000 V.
Auslieferungszustand:
vakuumseitig gereinigt (Purity Class PC2),
abgepumpt,
ausgeheizt (Vacuum Class UHV 1),
mit Pinch-Off verschlossen
Ausheiztemperatur (ohne Magnet) - 450 °C
Ausheiztemperatur (mit Magnet) - 250 °C
Artikel-Nr. - 370442
Verbindungstyp - CF
Nennweite DN - 40
Außendurchmesser - 70 mm
min. Betriebsspannung - 3 kV DC
HV-Verbindung - 10 kV SHV (SAFECONN)
mit Heizer - Nein
max. Betriebsspannung - 7kV DC
Edelgasstabil - Nein
Pumpelement - Diode
Reinheitsklasse - PCS
min. Enddruck - 1E-11 mbar
max. Startdruck - 1E-3 mbar
Nennsaugvermögen - 39 l/s
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* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.