Schrauben-Vakuumpumpe MS

trockeneinstufigGas

TROCKENE VAKUUMPUMPE MS SERIE Die MS-Serie ist eine Vakuumpumpe, die zur Kategorie der trockenen Vakuumpumpen mit Schrauben gehört. Korrosionsbeständigkeit und Pulverabsaugung sind als Prozessbeständigkeitsmodell auf der Grundlage der traditionellen LS-Serie verbessert. Dieses Modell ist für den Prozess der Verwendung von Korrosionsgas und Pulverabsaugung konzipiert. MERKMALE Korrosionsbeständigkeit durch die Behandlung einer speziellen Beschichtung für Hauptteile wie Rotorwelle und Zylinder Hohe Leistung der Pulverabsaugung durch Anwendung der einzigartigen ULVAC Rotorwelle Kontinuierliches Pumpen nahe dem Atmosphärendruck möglich BESONDERE MERKMALE / WEITERE ANWENDUNGEN Vakuumsystem für die Herstellung von Halbleitern und elektronischen Geräten Ätzen, Veraschung, Plasmareinigung, etc. Vakuumsystem für Öfen Sintern, Aufkohlen, etc. Vakuumsystem für die Herstellung von Li-Ionen-Batterien Elektrodentrocknung, Entgasung, Vakuumeinspritzung, etc. Vakuumsystem für Medizin und Lebensmittel Gefriertrocknung, Vakuumtrocknung, usw.