Glühofen MILA 5000

MINI-LAMPENGLÜHGERÄT MILA 5000 Mini-Lampenglühgerät Die schnelle thermische Verarbeitung (Rapid Thermal Processing, RTO) hat sich zu einer wichtigen Wärmetechnik zum Glühen von Halbleitern, Ferroelektrika und anderen Dünnschichtgeräten entwickelt. Bis vor kurzem standen für diese schnelle Heiz-/Kühltechnik jedoch nur große und teure Produktionssysteme zur Verfügung, was die Durchführung von F&E-Arbeiten, insbesondere an kleinen Proben, erschwert. Um diesem Bedarf gerecht zu werden, hat ADVANCE RIKO den Mini-Lampenglüher MILA-5000 entwickelt. Dieses kompakte Tisch-RTP-System ist um einen Goldreflektor-IR-Ofen herum aufgebaut und enthält einen hochpräzisen Temperaturregler. Ausgestattet mit einer optionalen Pumpgaseinlassanlage ist die MILA-5000 in der Lage, die gleiche Leistung wie größere RTP-Einheiten im Produktionsmaßstab auf kleinen Proben zu einem Bruchteil der Größe und der Kosten zu erbringen.