Funktionsgenerator DPG-5P/DPG-10P

ImpulsSpannungEntladung

GEPULSTE GLEICHSTROMGENERATOREN DPG-5P/DPG-10P Die DPG-5P/10P sind 5kW/10kW gepulste Gleichstromgeneratoren für das Blindzerstäuben. Dieser Stromgenerator ändert die minus Ausgangsspannung in Plusspannung und entladen die Speicherelektronenspannung der Zieloberfläche. Dadurch wird eine Ertrags- und Durchsatzverbesserung realisiert Ermöglicht eine hohe Leistungsaufnahme durch Reduzierung abnormaler Werte entladung Reduziert die Beschädigung des Substrats Geeignet zur Reduzierung von Substratschäden durch Lichtbögen Variable Umkehrpulsfrequenz Möglicher Bereich: 10kHz bis 250kHz Geeignet für große Kapazitäten durch Master/Slave-Verbindungen Bis zu sechs Einheiten können parallel betrieben werden (dasselbe Modell ist auch für die verfügbar) Entspricht dem DC-Ausgang Es hebt eine Impulsfunktion auf und kann DC ausgeben BESONDERHEITEN / WEITERE ANWENDUNGEN Reaktive Sputteranlage für FPD Reaktive Sputteranlage für die industrielle Beschichtung Reaktive Sputteranlage für Farb-TFTs