Prozessgas-Analysator QULEE RGM series

ÜberwachungProzessDruck

REAKTIVES PROZESSGASÜBERWACHUNGSSYSTEM - QULEE RGM-SERIE Dieses Prozessüberwachungssystem wurde für verschiedene Arten von Anwendungen wie Ätzen, CVD und andere reaktive Gasprozesse entwickelt. Die Verwendung der originalen Ionenquelle und des Pumpsystems von ULVAC ermöglicht es Ihnen, stabile Messergebnisse zu erzielen, die am besten für Ätz-/CVD-Geräte geeignet sind Langfristig stabile Messergebnisse Geschlossene Ionenquelle unter Nutzung eines Magnetfeldes Die weiche Ionisierung sorgt für eine geringere Gasdissoziation und eine höhere Empfindlichkeit. Zersetzung und Adsorption durch thermische Reaktionen werden minimiert in der Ionisationskammer. Kompaktes Leitwertventil mit 3 verschiedenen Gaseinlassmodi Der kurze Abstand zwischen Prozesskammer und Ionenquelle ermöglicht es, die schnelle Reaktion der Analyse. Geeignet für die Prozessüberwachung Großer Druckbereich von 1×10-6 bis 13kPa (7,5×10-9 bis 97,5 Torr, 1×10-8 bis 130mbar) ist verfügbar. (Auswahl der Oriices) Integriertes Display Kein PC erforderlich Einfache Bedienung "One Click" Funktion Ausheizen Max 120˚C (248˚F) Hochtemperatur-Backofen Entgasungsfunktion Elektronenbeschuss-Entgasung Schutz- und Wartungsvorrichtungen Schutz und Wartung von Ionenquelle und Sekundärelektronen multiplikator Rückverfolgbarkeit des Analyseröhrchens (Patent angemeldet) Es stehen verschiedene Dichtheitsprüfungen zur Verfügung Helium-Lecktest, Luftlecktest, Leckageprüfung, Leckage Totaldruckmessung Totaldruckmessung möglich (Externes Ionisationsmessgerät (GI-M2)) Qulee QCS ist im Lieferumfang enthalten Diese Software ist im Lieferumfang enthalten und kompatibel mit (Windows XP/7)