Prozessgas-Analysator QULEE CGM series

RestgasÜberwachungProzess

KOMPAKTER PROZESSGASWÄCHTER - QULEE CGM-SERIE "Qulee" (ausgesprochen als "KLEE"), ist das neueste Modell von ULVAC zur Restgasanalyse und Gasüberwachung während des Prozesses. Das Feedback von Anlagenbauern verschiedener Produktionslinien fließt in das neue Produktdesign ein und bietet höchste Einfachheit. Das Qulee bietet hohe Genauigkeit und Auflösung auch bei hohem Druck (1Pa oder weniger), ideal für Sputteranlagen Ideal zur Prozessüberwachung verschiedener Sputtersysteme Differenzpumpensystem nicht erforderlich Kein differentielles Pumpsystem erforderlich (bei 1Pa (7,5×10-3 Torr, 1×10-2-2 mbar) oder niedriger) Integriertes Display Kein PC erforderlich Einfache Bedienung "One Click" Funktion Ausheizen Max 120˚C (248˚F) Hochtemperatur-Backofen (250˚C (482˚F) wenn sensoren werden entfernt) Entgasungsfunktion Elektronenbeschuss-Entgasung Schutz- und Wartungsmerkmale Wartung der Ionenquelle und des Schutzes des Sekundärelektronenvervielfachers hilfefunktion Rückverfolgbarkeit des Analyseröhrchens (Patent angemeldet) Es stehen verschiedene Dichtheitsprüfungen zur Verfügung Helium-Dichtheitsprüfung, Luftdichtheitsprüfung, Aufbautest Totaldruckmessung Totaldruckmessung möglich (Ionisationsmessgerät) Qulee QCS ist im Lieferumfang enthalten Diese Software ist im Lieferumfang enthalten und kompatibel mit (Windows 7/8) QIP (Quick Install Package System) ist im Lieferumfang enthalten Automatisches Messpaket (siehe Optionskatalog für Details) Anwendbarer Standard Entspricht CE Prozessüberwachung für PV, FPD und Halbleitersystem Restgasanalyse in einer PVD-Anlage Kontrolle von Verunreinigungen (H2O, etc.) in PVD-Systemen Für die Dichtheitsprüfung